仪表空气由清洁干燥状态的大气经压缩而成。大气的氧浓度为20.6%是常识，理论上讲仪表空气和大气的氧浓度应该同为20.6%，但实际测量仪表空气的氧浓度是21%，两者存在明显差异，这是为什么呢？其实产生仪表空气和大气氧浓度不同的原因是湿度。仪表空气为清洁干燥状态，而大气通常含有相对湿度为70%左右的水份，正是大气含有水蒸气才使大气的氧浓度约降低为20.6%。
举例说明：常温(23℃)下的饱和蒸汽压为0.02864kg/cm²。大气压为1.0332kg/cm²，所以相对湿度为100%的空气中含水蒸气的体积是：0.02864÷1.0332×100%=2.77%，此时求得的氧气浓度虽然是20.42%，但由于通常相对湿度约为70%，所以实际浓度应为20.6%。
通过上面的计算不难看出：在需要精确测量氧气的情况下，必须考虑空气湿度对仪表测量结果的影响。仪表空气的氧浓度固定为21%，故仪表空气常常用作氧化锆氧量分析仪测量时的参比气体和校正时的量程气体。同时，利用这个原理，氧化锆氧量分析仪也可当做高温湿度(水份)分析仪使用。
