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什么是热电堆?

2023/5/31 11:12:15 分类:温度测量 
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热电堆是由多个热电偶串联而成的,每个热电偶都会输出热电势,并且这些热电势会互相叠加。因此,热电堆可以用于测量微小的温差或者求出平均温度。其结构是将辐射接收面分成若干块,并且每块接一个热电偶,在将它们串联起来。这样,热电偶就构成了一个热电堆。

实用的热电堆可以根据用途的不同制成多种类型,包括细丝型、薄膜型、多通道型和阵列型器件等。对于红外探测器来说,其响应率是一个重要的参数,该参数受多种因素影响,如红外吸收效率、探测器热导率、热电偶对数等。其中,红外吸收效率由吸收面积决定,面积越大,转化红外辐射为热能的效率越高,从而使探测器响应率更高。

热电堆
热电堆的原理

红外热电堆探测器的工作原理为塞贝克效应(Seebeckeffect)。早先的红外热电堆探测器是利用掩膜真空镀膜的方法,将热电偶材料沉积到塑料或陶瓷衬底上获得的,但器件的尺寸较大,且不易批量生产。

随着MEMS技术的应用,出现了微机械红外热电堆探测器。K.D.Wise 等人,最先利用MEMS 技术于20世纪80年代初制造获得了硅基红外热电堆探测器。


目前,常规的热电堆红外探测器采用单层MEMS(Micro electro mechanical Systems,微机电系统)的悬空结构,在衬底上包括含有多对n型硅和p型硅的热电偶101悬空部件,热电偶围绕在吸热区102外边缘,热电偶的冷端103与衬底相连,热端104与吸热区102相连。吸热区吸收的红外辐射传导到热电偶,转化成热电偶热端与冷端的电势。其中,吸热区102采用金黑涂层、银黑涂层以及其他的材料作为吸收材料,来提高器件的红外吸收率。

热电堆红外探测器示意图

从热电堆红外传感器的俯视图可以看出,有2对热电偶的热电堆探测器,被热电偶包围的吸热区102占整个传感器表面积的比例约1/4。


实际上,为了让热电堆探测器更敏锐地捕捉红外信号,科研人员通常会使用包含多对热电偶的热电堆红外探测器。不过,现有的结构在增加热电偶对数时,会导致吸热区面积缩小。这样一来,探测器的红外吸收能力会降低,从而影响其吸收率提高。为了解决这一问题,一些热电堆探测器采用金黑涂层、银黑涂层等材料作为吸收材料,以提高器件的红外吸收率。这些措施有助于提高探测器的响应率,从而更加精准地捕获红外信号。但是,金黑涂层、银黑涂层一般采用电阻加热真空蒸镀法制作,这种工艺与 IC(Integrated Circuit,集成电路)工艺不兼容。


热电材料

目前用于热电堆型非致冷红外焦平面阵列的热电偶有P型多晶硅和金(Au)热电偶、Si外延层有P型扩散区和铝(Al)热电偶、P型(Bi1~x~Sbx)2Te3"和N型Bi1~x~Sbx薄膜热电偶、N型和P型多晶硅热电偶。其中N型和P型多晶硅热电偶是当前研究得比较深也是最有前途的探测材料。
ETH的LENGGENHAGER和Baltea等人1993年报道了用N型和P型多晶硅(PS)为热电偶的单个热电堆红外探测器。读出电路由CMOS制作,获得的灵敏度为150V/W。霍尼韦尔公司Wood等人1995年报道了120元的线阵热电堆红外摄像传感器。ISI公司已将其用于成像辐射计中。日本防卫厅和日本电气公司Kanno等人1994年报道了128×128元的热电堆非致冷红外焦平面阵列。用N型和P型多晶硅作热电偶,获得的灵敏度为1550V/W。它是目前热电堆型非致冷红外焦平面阵列的代表。

热电堆的发展方向

目前热电堆的主流生产工艺 MEM 工艺,考虑到提高探测灵敏度及微型化的需要,已经有越来越多的研究往堆叠式方向前进。如:埃赛力达(原铂金公司)加拿大有限公司的在申请发明专利“垂直堆叠式热电堆”,申请号2011800234244。

热电堆的应用分析

热电堆为实现非接触、定点、定向测温的电子元器件,在各种测温环境中得到广泛应用。

MEMS热电堆的测温范围一般在-20℃-100℃之间,精度一般0.1℃-0.2℃。热电堆技术被广泛应用于测量物体的相对温度,即物体与其周围环境温度的差值。不过,要计算得出物体的实际温度,热电堆自身的温度必须经过热敏电阻标定或电路补偿。目前,热电堆技术在民用和工业两个领域都有重要的应用价值。在民用领域,它被广泛应用于电子体温计、家电(如照明、冰箱、微波炉和空调)的节能控制。而在工业领域,热电堆技术则被应用于建筑、办公场所的节能系统、安防设备、以及机械设备关键发热部件的温度监测和控制等方面。


体温计

传统体温计采用水银材质,价格便宜,测量准确度高,被广泛运用于医疗和家庭领域。但是,水银体温计需要较长的测试时间,通常需要连续测量至少5分钟才能获得可靠的结果,并且还需要确保体温计端与身体紧密接触,否则会影响测量结果的准确性。

另外,水银温度计常是玻璃制的,且容易损坏并释放出“汞”,从而对人体健康构成了巨大危害。因此,越来越多的国家已经开始禁止使用水银体温计。但是,不用担心,市场上已经出现了替代性的电子体温计,它们的价格从便宜的一元钱到高档的几十、上百元不等。


此外,根据测量方式的不同,电子体温计可划分为接触式和非接触式两种。为了保障您和家人的健康,昌晖仪表制造有限公司建议使用电子体温计。


①接触式体温计

使用热电偶原理,外观与传统水银温度计类似,结构亦分为测温端和显示端两部分,测温时间大概30秒左右,精度较高,市场售价根据外观、做工和品牌不同,一般为10-50元之间,统计淘宝平均售价为25元(统计 40个样本)。

②非接触式体温计

使用热电堆原理,测量时间仅需1-2秒,非常适合为多动的婴儿测温,可分为额温计和耳温计两类。市场价格也较高,国外品牌(德国博朗 BRAUN)淘宝价格为310元左右(国外官方售价40美金),国产品牌价格在 100-150元之间。通过对比产品描述,国产品牌此类温度计可能发生较大误差,需要通过使用者对比水银温度计示数进行手动调整,国外品牌温度计可靠性更高,不存在此类现象。

另有医用热电堆温度计,可靠性更高,德国博朗的两个型号售价分别为 200和250美金。热电堆测温对方向性要求很高,方向发生偏差对结果会有较大影响。节能型家电、建筑、办公场所的节能系统、安防设备此类应用主要是弥补传统热释电红外传感器的不足。


传统PIR能够实现动态的人体检测,无法检测出静止的人。使用热电堆可通过温度感应检测出静止的人。另外,热电堆做成阵列后,便可对整个空间温度进行全面监控,便于打造最舒适的生活环境。


日本欧姆龙于2012年7月在日本东京国际展览中心举办的“第23届微机械/MEMS展”中推出了其制造的“热电堆阵列感应模块”,分为4×4 和1×8两款,在同一个探头内形成热电堆阵列,配合球面透镜,对一定区域的温度进行监测。测温范围5-50℃,精度0.14℃,功耗约30毫瓦。


网上小批量(50pcs以上小批量)售价为340元/pcs(4×4)、305元/pcs(1*8),2013年度目标销售20亿日元(1.2 亿人民币)。该模块可以直接应用于各种测温、温控、人体感应等电器或系统。


在工业中,机械设备的关键发热部件的温度监测和控制至关重要。为了实现精确的温度监测和自动控制,越来越多的企业开始采用热电堆技术。相比于普通的温度传感器,热电堆不需要接触到固定位置就可以测定一定区域内的温度,极大地提高了检测效率和精度。当设备出现故障时,热电堆能够迅速检测到异常温度并自动停止生产线,避免灾害发生。因此,热电堆正逐渐成为工业生产中不可或缺的重要工具。


如今,工业界对热电堆的精度和测温范围有着更高的要求,而这些参数比民用热电堆更加严格。由于热电堆的测量方式是非接触式的,只需要保持热电堆周围环境的温度稳定,就可以遥控监测高温对象,为工业生产提供一种准确、可靠且高效的解决方案。


例如MEAS(精量电子(深圳)有限公司)TSEV01型号测温范围可达到0℃-300℃,精度0.1℃,甚至有能够测量高达1700℃的热电堆传感器。

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