执行机构按照动力源不同可分为气动执行机构、电动执行机构和液动执行机构。气动执行机构以压缩空气作为动力源，是使用最为广泛的执行机构。针对不同的应用特点，气动执行机构发展出不同的结构形式，分为薄膜式、活塞式、箱体式、拨叉式、叶片式等。电动执行机构是以电源作为动力源，电机输出动力通过齿轮传动机构驱动阀门设备。液动执行机构是以液压油为动力源，要配备液压站和输油管路，在此基础上又发展出电液动执行机构是将电机、油泵、电液伺服阀集成于一体。云南昌晖仪表制造有限公司对这几种执行机构的特点和比较如下。
气动执行机构特点
1、动作速度：动作速度快
2、可靠性：气动执行机构可靠性高，能够适应频繁启停高频动作，负荷变化对执行机构没有影响
3、安全阀位无需外界动力：失去动力源或控制信号时可实现安全阀位动作，全开、全关或保持位置不变
4、调节控制：配置智能定位器，可实现智能闭环控制，控制精度高，可设置输出特性曲线等高级诊断功能，支持数字总线通讯
5、环境适应性：以气缸为主题，所以可以承受高温、粉尘多、空气污浊等恶劣环境条件。一压缩空气作为动力源，气动执行机构适用于防爆的危险区域，适合应用于石化、石油、油品加工等行业。
6、初期投资：设备技术成熟，标准化，安装施工方便，工程投资少
7、维护：气动执行机构结构简单，易于操作，故障率低，维护量少，使用寿命长
电动执行机构特点
1、动作速度：电动执行机构电机通过齿轮减速箱输出力矩，动作速度相对较慢
2、可靠性：频繁启停，电机发热，会导致过热保护。负载瞬间波动增大会造成过力矩保护。过热或过力矩保护会导致执行机构拒动。过热或过力保护会导致电动执行机构拒动。如果选型采用小电机带大齿轮箱，小马拉大车，电机故障率高
3、安全阀位与外界动力：失去动力源时只能保持原位
4、调节控制：控制精度高，可设置输出特性曲线等高级诊断功能，支持数字总线通讯
5、环境适应性：以电机为主体，含大量电子元件，使用交流电源作为动力源，高温环境和防爆危险区域不推荐使用电动执行机构
6、初期投资：设备技术成熟，标准化，安装施工方便，工程投资少
7、维护：电动执行机构结构复杂，故障率高，维护量大
液动执行机构特点
1、动作速度：工作压力高，动作速度非常快
2、可靠性：可靠性高，能够适应频繁启停高频动作，负载变化对执行机构没有影响
3、安全阀位与外界动力：液动执行机构失去动力源或控制型号时可实现安全阀位动作，全开、全关或保持位置不动
4、调节控制：控制精度非常高，动作平稳，可设置输出特性曲线等高级诊断功能，支持数字总线通讯
5、环境适应性：一高压液压油作为动力源，高温环境和防爆危险区域不推荐使用液动执行机构，液动执行机构的使用范围最小只有大型的、特殊的工程才会专门建造并使用液动执行机构。
6、初期投资：液动执行机构要配置液压站和输油管道，这造成液压执行机构相对电动执行机构和气动执行机构来说，一次性投资更大，安装工程量也更多